514. JENAer Optikkolloquium

Räumliche Lichtmodulatoren ermöglichen eine flexible und hochdynamische Steuerung der Intensität und Phase optischer Lichtfelder. Sie tragen zur Verbesserung bestehender Systeme ebenso bei wie zur Entwicklung neuartiger optischer Systeme für ein breites Anwendungsspektrum, etwa in der Biologie, Medizin, Astronomie, Lithografie sowie in der Atom‑, Molekül- und Optikphysik bis hin zur computergenerierten Holografie.
Seit mehr als 25 Jahren arbeitet das Fraunhofer IPMS an der Entwicklung verschiedener analoger, auslenkbarer Mikrospiegel-Arrays, um den Anforderungen heutiger und zukünftiger Anwendungen gerecht zu werden, die eine anspruchsvolle Modulation optischer Lichtfelder erfordern.
Der Vortrag gibt einen Überblick über typische Anwendungen und insbesondere über anwendungsspezifische Bauelemente mit individuellen Spiegelgrößen von (40 µm)² bis hinunter zu 4 × 6 µm². Diese Bauelemente ermöglichen Piston‑, Tilt‑, Tip-Tilt- sowie kombinierte Piston-Tip-Tilt-Auslenkungen für anspruchsvolle Anwendungen im Spektralbereich vom DUV bis zum Infrarot.

Prof. Harald Schenk

Prof. Dr. Harald Schenk ist Physiker und promovierter Elektrotechniker. Seit 2012 hat er den Lehrstuhl für Mikro- und Nanosysteme an der BTU Cottbus-Senftenberg inne. Dort leitet er seit 2019 zwei große Strukturwandelprojekte im Bereich der angewandten Sensorik, darunter den „Innovationcampus Electronics and Micro Sensors Cottbus (iCampµs)“.
Seit 2013 ist er zudem Direktor des Fraunhofer-Instituts für Photonische Mikrosysteme mit Standorten in Dresden und Cottbus. Harald Schenk war Initiator und Gesellschafter zweier Hightech-Ausgründungen, die inzwischen von Unternehmen übernommen wurden. Innerhalb der Forschungsfabrik Mikroelektronik Deutschland ist er unter anderem als Mitglied des Lenkungsausschusses aktiv. Zu seinen besonderen Interessengebieten zählen Mikroelektronik, Sensorik, Mikrosystemtechnik und Quantentechnologien.
Harald Schenk hat als Autor und Koautor mehr als 200 wissenschaftliche Publikationen veröffentlicht und ist Mitautor von mehr als 30 erteilten Patenten.